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Apreo 2 SEM掃描電鏡如何提高圖像的分辨力

更新時(shí)間:2022-08-28   點(diǎn)擊次數(shù):1250次
  Apreo 2 SEM掃描電鏡可以獲得高分辨率和真實(shí)的厚樣品形貌掃描電子顯微鏡的分辨率介于光學(xué)顯微鏡和透射電子顯微鏡之間,但在比較厚樣品的觀察時(shí),由于透射電子顯微鏡也采用層壓法,層壓的分辨率通常只有10nm,而且觀察的不是樣品本身。因此,用掃描電鏡觀察厚樣品,獲得樣品的真實(shí)表面數(shù)據(jù)更為有利。
 
  為提高Apreo 2 SEM掃描電鏡圖像的分辨力,常采用的途徑和方式有下列幾種。
 
  (1)在物鏡的極靴附近加設(shè)一個(gè)特殊的附加靜電裝置,用來同時(shí)匯集一次電子并提取二次電子,再加上物鏡頂部環(huán)形探測(cè)器接收的面積大,靈敏度高,在短工作距離下能明顯改善圖像的信噪比和提高分辨力。
 
  (2)采用透鏡內(nèi)探測(cè)器或安裝在物鏡上方的探測(cè)器(TLD-SED),都能明顯改善低加速電壓和短工作距離時(shí)的圖像信噪比和分辨力。在WD較小時(shí),不僅可以減小物鏡球差和消除傳統(tǒng)E-T探測(cè)器前端柵網(wǎng)上加速電位帶來的影響,而且它接收到的幾乎都是在入射束照射下直接產(chǎn)生的二次電子,排除了背散射電子等其他信號(hào)所產(chǎn)生的次生或間接的二次電子,因而有助于提高圖像分辨力。
 
  (3)利用高亮度的場(chǎng)發(fā)射電子槍來作電子源的陰極以提高束流密度,從而提高亮度。
 
  (4)縮短工作距離,既可以相對(duì)增大信號(hào)量、提高信噪比,又可以減小像差,也就是把試樣盡量移近物鏡極靴,這類似于光學(xué)顯微鏡中的短焦距“浸沒透鏡”方式。物鏡的極靴區(qū)是獲得高分辨圖像的有效部位但由于該處的空間很小,一般只有毫米級(jí)的試樣才能進(jìn)得去,而且試樣的移動(dòng)范圍很小,操作起來要格外小心,否則容易“四處碰壁”。這種模式由于焦距短,束斑受外界的影響小,像差也小,且能進(jìn)入到該區(qū)域的試樣座也要小,小樣品臺(tái)的穩(wěn)定性相對(duì)會(huì)比較好,所以在該區(qū)域拍攝的照片,其圖像分辨力能得到明顯提高。
 
  (5)使用強(qiáng)磁透鏡,這是在透射電鏡中裝上附加的掃描附件,使試樣發(fā)出的二次電子在強(qiáng)磁場(chǎng)中被檢測(cè)、收集成像,即利用透射電鏡的掃描附件做出掃描電鏡才能完成的二次電子像,而且這種二次電子像的分辨力往往優(yōu)于同類電子槍的專業(yè)掃描電鏡。

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